中新網(wǎng)山西新聞9月22日電 隨著數(shù)字經(jīng)濟(jì)和電子信息產(chǎn)業(yè)的迅猛發(fā)展，以碳化硅等為代表的第三代半導(dǎo)體已成為全球高新技術(shù)和產(chǎn)業(yè)競爭的戰(zhàn)略制高點(diǎn)，其在國民經(jīng)濟(jì)、國防安全、國際競爭和社會民生等領(lǐng)域的重要戰(zhàn)略意義和作用已在全球業(yè)界形成共識。碳化硅單晶的制備一直是全球性難題，而高穩(wěn)定性的晶體生長工藝則是其中最核心的技術(shù)，碳化硅材料也成為擺脫進(jìn)口依賴，滿足節(jié)能減排、綠色發(fā)展、智能制造、信息安全等國家重大戰(zhàn)略需求。

　　我國是碳化硅最大的應(yīng)用市場。在新能源汽車，光伏發(fā)電、軌道交通、智能電網(wǎng)、航空航天、5G通訊等領(lǐng)域和其他三代半導(dǎo)體的核心應(yīng)用場景，都以我國作為最大主場。全球生產(chǎn)的碳化硅器件，50%以上在中國應(yīng)用。

圖為高純碳化硅粉料

　　在碳化硅器件結(jié)構(gòu)成本中，碳化硅襯底的占比為47%。作為整個產(chǎn)業(yè)鏈中技術(shù)壁壘最高的環(huán)節(jié)，無論是今后的降低成本還是大規(guī)模產(chǎn)業(yè)化推進(jìn)，碳化硅襯底的核心作用都無可替代。

　　山西天成半導(dǎo)體材料有限公司由多位碳化硅領(lǐng)域科研和量產(chǎn)經(jīng)驗(yàn)人員共同發(fā)起，從2021年8月開始籌備，僅半年中試完成，導(dǎo)電型和半絕緣型6寸晶錠同步出爐，并成為2022創(chuàng)客中國新材料大賽企業(yè)組山西省唯一入圍企業(yè)。

　　如何制備高純碳化硅粉料是碳化硅單晶生長領(lǐng)域研究熱點(diǎn)和核心技術(shù)，天成半導(dǎo)體采用自主改進(jìn)的自蔓延高溫合成法制備的高純碳化硅粉料經(jīng)第三方機(jī)構(gòu)檢測，純度達(dá)到6N電子級碳化硅粉料。

　　天成半導(dǎo)體研發(fā)團(tuán)隊從設(shè)備研制、粉料、籽晶、熱場設(shè)計到襯底制備，已經(jīng)形成完整自主閉環(huán)。晶錠經(jīng)蘇州揚(yáng)帆半導(dǎo)體做代加工切片，襯底經(jīng)過米格實(shí)驗(yàn)室檢測，TSD≤500㎠、TED≤2500㎠、BPD≤500㎠，MD≤0.5ea/㎠，導(dǎo)電性0.015~0.025ohm•cm。產(chǎn)品數(shù)據(jù)國內(nèi)先進(jìn)，經(jīng)過外延廠試用反饋后與多家下游企業(yè)達(dá)成合作意向。

　　天成半導(dǎo)體從立項到中試完成產(chǎn)品驗(yàn)證過程，使用經(jīng)費(fèi)少，研發(fā)速度快。截至目前，該公司在裝備、粉料、籽晶等業(yè)務(wù)中已經(jīng)完成數(shù)百萬營收。

　　因大規(guī)模廠房建設(shè)投產(chǎn)周期長，為快速響應(yīng)市場，天成半導(dǎo)體公司以3個月為一建設(shè)單元，小步快跑，模塊化建設(shè)，目前二期廠房10000平米已接近驗(yàn)收，規(guī)劃年產(chǎn)10萬片正分階段進(jìn)行中，預(yù)計2023年1月二期一單元建成，預(yù)計產(chǎn)能達(dá)到月產(chǎn)1000片，并已有客戶提前預(yù)定。

　　項目入駐山西太忻一體化經(jīng)濟(jì)區(qū)，在山西省政府、太原市政府及中北高新開發(fā)區(qū)產(chǎn)業(yè)園的大力支持下，給予天成廠房、資金、能耗等各方面政策支持。該公司團(tuán)隊將持續(xù)憑借系統(tǒng)的專業(yè)知識、成熟的制造能力、知識產(chǎn)權(quán)組合以及地緣優(yōu)勢等多方面的優(yōu)勢，助力中國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)健康持續(xù)發(fā)展，并在推動經(jīng)濟(jì)全球化過程中發(fā)揮關(guān)鍵作用。(完)